簡(jiǎn)要描述:高分辨X射線(xiàn)衍射儀其可靠性的增強及性能的改進(jìn)提高了分析能力,提供一體化解決方案來(lái)滿(mǎn)足不同需求和應用X射線(xiàn)衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
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儀器種類(lèi) | 探測器及其他設備 | 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
X射線(xiàn)衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
高分辨X射線(xiàn)衍射儀其可靠性的增強及性能的改進(jìn)提高了分析能力,提供一體化解決方案來(lái)滿(mǎn)足不同需求和應用:
• 半導體和單晶晶圓:倒易空間探索、搖擺曲線(xiàn)分析
• 多晶固體和薄膜:織構分析、反射測量
• 超薄薄膜、納米材料和非晶層:掠入射物相鑒定、面內衍射
• 非常溫條件下的測量:隨溫度和時(shí)間變化的峰高
推動(dòng)薄膜領(lǐng)域的材料研究材料研究的進(jìn)步給我們的生活方式帶來(lái)了巨大變化。例如,材料技術(shù)推動(dòng)了通信技術(shù)的發(fā)展,而這些技術(shù)如今早已成為我們日常生活中密不可分的一部分。薄膜結構是電子、光學(xué)、機械和能源應用的許多高級功能設備的核心所在。多層材料現在,生長(cháng)技術(shù)允許多層結構沉積,其中各層的厚度可以從微米級別低至單分子層級別。高級薄膜設備所涉及的典型材料包括半導體、金屬合金、介電材料和化合物。在各種薄膜結構中,通常需要進(jìn)行多次測量來(lái)分析各種屬性,比如層厚、晶相和合金成分、應力、結晶度、密度和界面形態(tài)等。研究和監測結構特性為了設計、理解和改進(jìn)新器件,在多步制程的每個(gè)階段都必須測量關(guān)鍵的結構特性。在薄膜器件的研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中,對薄膜性能的監測是不可少的一步。
X射線(xiàn)衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
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